BEH系列干式真空泵

通过微机精密控制工作状态;
BEH干式真空泵系列产品在实现低速运转的同时仍能发挥极高性能,可用于CVD、PVD、 刻蚀、溅射等所有工程;
微机控制系统常时显示泵的电流值、冷却水的流量、 氮气流量、泵的背压.可以精密控制工作状态;
发生异常时,响起警报,并显示和记录时间和异常内容;
报警内容和时刻最多要记录199条;
遥控内装专用连接器,遥控运转和监视;
节约N2气体模式,工程中止时,可遥控切断稀释用N2气体;
LCD控制器运转操作和显示各种信息.

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8 个 型 号 符 合 条 件
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